1、新华社：“超分辨光刻装备项目”通过国家验收 可加工22纳米芯片

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　　2、中新社：中国研制成功世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备

　　http://www.chinanews.com/gn/2018/11-29/8688530.shtml

　　3、经济日报：我国成功研制超分辨光刻装备 光刻分辨力可达22纳米

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　　4、国际在线：中国超分辨光刻装备研制取得系列技术突破 拥有完全自主知识产权

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　　5、光明日报：国际首台分辨力最高的超分辨光刻装备研制成功

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　　6、中国科学报：我国新一代超分辨光刻机通过验收

　　http://news.sciencenet.cn/sbhtmlnews/2018/11/341400.shtm

　　7、科技日报：宽刀雕细活 我国造出新式光刻机

　　http://m.cas.cn/cmsm1/201811/t20181130_4672544.html