此页面上的内容需要较新版本的 Adobe Flash Player。

获取 Adobe Flash Player

光电所在痕量水汽检测研究中取得进展

文章来源:光电所 发表时间:2017-08-30

  高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数,气体中残余水汽含量即使是ppbv (体积的十亿分之一)量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线,在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展,推动了该区域红外光谱检测技术的发展。     

  光电所团队首次在中红外波段采用5.2 um可调谐量子级联激光器,基于连续光腔衰荡光谱技术建立了痕量水汽的检测装置,并开展了痕量水汽检测实验。通过阿伦方差分析系统噪声水平,确定了光腔衰荡信号最优平均次数为602 次。在常压和室温下,对1918cm-1 附近的水汽吸收光谱进行测量,测定高纯氮气中的痕量水汽浓度,检测结果与标称值一致。对检测灵敏度进行分析,在腔镜反射率为 99.93%时水汽的检测灵敏度达到24.8ppbv。分析结果表明,中红外高灵敏痕量气体检测技术在工业监测、环境检测以及医学诊断等领域具有很好的应用前景。     

  相关研究成果发表于《光谱学与光谱分析》(Spectroscopy and Spectral Analysis)。 

版权所有:中国科学院成都分院 技术支持:中国科学院计算机网络信息中心
单位地址:中国四川省成都市人民南路四段9号 邮编:610041